Transportation system

반송 시스템


절연성 물품의 반송시의 대전 억제가 가능한 반송 시스템 및 컨베이어 장치를 제공한다. 반송 시스템(100)은, 유리기판(W)을 트레이(1)에 올려놓고 반송하는 반송 시스템으로서, 롤러(25)와 트레이(1)를 구비하고 있다. 롤러(25)는, 반송방향으로 나란히 복수 개가 배치되어 있다. 트레이(1)에는, 절연성의 유리기판(W)을 올려 놓는다. 그리고, 트레이(1)와 롤러(25)에 있어서, 적어도 상호 접촉부(외측 플랜지(11) 및 롤러(25))가 도전성을 가지고 있으며, 접촉부는 접지되어 있다.
A transport system is provided to suppress the electro static charge generated between a glass substrate and a tray by the friction and the separation. A transport system comprises a glass substrate(W) and a tray(1). The transport system returns the glass substrate put on the tray. A plurality of rollers is side by side arranged to the sending direction. The glass substrates of the insulating property are put on tray. The tray and the roller comprise a contact unit like an outward flange. The contact unit has the conductivity. The contact unit is earthed.




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