기판가열용 저항식 비접촉형 히터블록

Non-contact type heater block using electric resistance for heating substrate

Abstract

본 발명에 따른 저항식 비접촉형 히터블록은, 케이스(131); 케이스(131) 내에 내장되는 저항식 발열수단(132); 저항식 발열수단(132)과 케이스(131) 사이의 빈 공간에 채워지는 열전도 분말(133); 을 구비하여 기판(110)과 이격된 채로 기판(110)을 가열하는 것을 특징으로 한다. 저항식 발열수단(132)은 독립적인 제어가 가능하도록 여러개의 섹터로 구분되게 설치되는 것이 바람직하다. 본 발명에 의하면, 기판을 균일하고 신속하게 가열할 수 있으며, 기판이 배치형으로 장입되는 경우에 특히 효율적이다. 또한 기판의 양면을 가열하는데 적합하므로 기판의 가열에 합리적이다.
PURPOSE: A resistance type noncontact heater block is provided to heat a substrate rapidly and uniformly using the resistance energy. CONSTITUTION: A noncontact heater block(130) for heating a substrate includes a case, a resistance heating unit, and thermo-conductive powder. The resistance heating unit is embedded in a case. The thermo-conductive powder is filled between the resistance heating unit and the case. The noncontact heater block heats the substrate while being separated from the substrate(110). The case is made of stainless steel, quartz, magnesia, or alumina.

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